1992.09~1996.07，哈尔滨工业大学，学士

1999.09~2002.07，哈尔滨工业大学，硕士

2002.09~2007.07，清华大学精仪系，博士

1998.07~2002.09，四川长虹电子集团公司空调部设计所

2007.07~2009.10，清华大学精仪系博士后

2009.10~至今，清华大学我系（精仪系部分并入）

作为项目主要骨干参与过11项科研项目：3项国家重大专项项目，2项十五“863”IC装备重大专项项目，1项国家重点基础研究发展计划（973计划）， 1项自然科学基金面上项目，1项北京市科委项目，2项清华大学摩擦学国家重点实验室基金项目；

作为项目负责人负责了1项国家博士后基金项目、1项企业横向技术研发项目。